檢索結果:共5筆資料 檢索策略: "Ying-Sheng Huang".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="薄膜"
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本研究已成長高品質氮化銦(InN)薄膜在氮化鎵(001)的基板上,利用高解離性的氮源(HN3)來當化學束磊晶技術來成長薄膜。成長薄膜特性分析儀器使用:高解析度場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)、高…
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近年來,有越來越多人開始投入太陽能電池的研究,因此技術進步的很快,目前研究雖然都有不錯的轉換效率,但由於成本高昂,故一直無法普及,因此找尋新的材料來壓低太陽能電池成本是必需的,然而在各種新材料被研究…
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此實驗使用反應式離子束濺鍍法沉積摻氮氧化鋅薄膜,採用陽極層離子源,以鋅為靶材,同時通入氬氣、氧氣及氮氣,探討氧/氮流量對摻氮氧氧化鋅薄膜的特性影響。實驗結果顯示在氧流量0.5 ~ 4.0 sccm,…
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本研究探討以離子束濺鍍法,沉積摻鉺氧化鋅薄膜(Erbium-doped ZnO, EZO)之特性。我們以層狀方式沉積EZO薄膜,藉退火使鉺與氧化鋅混合。實驗中,成功的以325 nm之He-Cd雷射,…
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本研究利用反應式離子束濺鍍法沉積氧化鈷與摻銅氧化鈷薄膜,改變氧氣/氬氧的流量比例(Opf = O2/(Ar+O2))及沉積溫度,探討製程參數對氧化鈷及摻銅氧化鈷之影響。研究結果顯示在室溫下所沉積之樣…